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薄膜β射线技术测厚方法
作者：shzhjn 发表时间：2012-12-15 10:01:06 阅读：次
薄膜β射线技术测厚方法
β射线技术 β射线技术是最先应用于在线测厚技术上的射线技术，在上世纪60年代就已经广泛用于超薄薄膜的在线厚度测量了。它对于测量物没有要求，但β传感器对温度和大气压的变化、以及薄膜上下波动敏感，设备对于辐射保护装置要求很高，而且信号源更换费用昂贵， Pm147源可用5-6年，Kr85源可用10年，更换费用均在6000美元左右。
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